Los instrumentos ICR tienen requisitos de vacío aún más altos y a menudo incluyen una bomba criogénica para una tercera etapa de bombeo. El sistema de bombeo es una parte importante de cualquier espec...Los instrumentos ICR tienen requisitos de vacío aún más altos y a menudo incluyen una bomba criogénica para una tercera etapa de bombeo. El sistema de bombeo es una parte importante de cualquier espectrómetro de masas, pero una discusión detallada está fuera del alcance de este artículo.