7.5: Perfilado de profundidad de barrena

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Como se describe en la Sección de Espectroscopia de Auger es una técnica espectroscópica sensible a la superficie que produce información composicional. En su forma básica, proporciona información composicional sobre un área relativamente grande (∼ 1 mm ²) de superficie utilizando una sonda de haz de electrones de enfoque amplio. De esta manera, se puede obtener fácilmente suficiente señal manteniendo bajo el flujo de electrones incidente y evitando así posibles modificaciones inducidas por electrones de la superficie. Como consecuencia, la técnica es no destructiva cuando se usa de esta manera.

Para obtener información sobre la variación de composición con profundidad por debajo de la superficie de una muestra, es necesario eliminar gradualmente el material de la región superficial que se analiza, mientras se continúa monitoreando y registrando los espectros de Auger. Este grabado controlado de la superficie de la región analizada se puede lograr exponiendo simultáneamente la superficie a un flujo iónico que conduce a la pulverización catódica (es decir, la eliminación) de los átomos de la superficie.

Por ejemplo, supongamos que hay una capa enterrada de una composición diferente varios nanómetros por debajo de la superficie de la muestra. A medida que el haz de iones graba el material de la superficie, las señales de Auger correspondientes a los elementos presentes en esta capa subirán y luego disminuirán nuevamente.

El diagrama anterior muestra la variación de la intensidad de la señal de Auger que uno podría esperar de dicho sistema para un elemento que solo está presente en la capa enterrada y no en el resto del sólido. En resumen, al recolectar espectros de Auger ya que la muestra se somete simultáneamente a grabado por bombardeo iónico, es posible obtener información sobre la variación de composición con profundidad por debajo de la superficie; esta técnica se conoce con el nombre de Perfilado de Profundidad de Auger.